蓝宝石衬底表面裂纹检测软件,实现原理:由于相机的焦距是固定的,在某一高度下获取的图像仅在某些区域是清晰的,其余位置则是模糊的,通过算法确定清晰的区域就能获取清晰区域的相对高度,通过移动相机与蓝宝石的距离,使整个蓝宝石表面的裂纹都获取清晰的图像,从而实现整个蓝宝石晶圆裂纹在不同位置的相对高度。本项目主要分为两个模块:1、利用相机厂商提供的类库实现对在平台上的蓝宝石晶圆片图像和利用步进电机控制相机与蓝宝石晶圆的距离从而获取不同距离下的蓝宝石裂纹图像;2、利用聚焦合成算法实现蓝宝石表面裂纹的三维重构,提取裂纹的宽度、深度等信息。
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